FS450型分子泵磁轴承
近日，由飞旋科技有限公司研制的“基于交叉反馈控制的FS450型分子泵磁轴承”技术成果鉴定会在浙江富阳举行，来自清华大学、浙江大学、南京航天航空大学、西安交通大学等多所知名高校的专家对该产品进行了专业鉴定。鉴定委员会在听取了研制总结、性能测试、科技创新、用户使用情况报告，现场观看了样机演示运行后，经过讨论，一致同意此项技术通过鉴定，认为该成果技术水平为国内领先，符合我国分子泵磁轴承发展的需要，为磁轴承的产业化奠定了坚实的基础，并将取得明显的经济和社会效益。由此，国内首个拥有自主知识产权的磁轴承产品的研发宣告成功。
所谓的磁轴承技术是国际上20世纪60年代中期以来发展起来的一项新型轴承技术，它利用磁力使转轴稳定悬浮，且轴心位置可控，是集机械学、力学、控制工程、电磁学、电子学和计算机科学于一体的最具代表性的机电一体化系统。磁力轴承是一种可提供高转速、高承载、高精度，并且可以实现自动控制的新型轴承。
此项技术的创新之处是首次将一种5自由度控制的磁悬浮轴承用于分子泵，并采用交叉反馈的控制技术，解决了挠性转子在高转速下的陀螺效应问题，提高了转子的稳定性；采用了本机动平衡技术，有效地降低了转子的振动。用户试用表明产品的主要性能方面达到了设计指标。
飞旋科技有限公司是国内第一家生产磁轴承的高科技公司。一年多来，飞旋科技的研发团队将先进的磁轴承理论、技术与工业应用实践密切结合，理论与技术并重，攻克了磁轴承研发中的多个技术难题，终于在国内率先研发成功了适用于集成电路装备应用的分子泵磁轴承。
本次FS450型分子泵磁轴承产品的研发成功标志着飞旋科技在分子泵应有磁轴承领域已经填补了国内空白，彻底打破了国外技术垄断，在我国分子泵行业将产生具有深远意义的影响。
一、它将促进我国超高真空领域技术的发展，增强国产真空分子泵的国际市场竞争力，国产磁轴承分子泵有望逐步替代进口产品、并占领部分国际市场。
二、长远来看，对提高我国仪器制造技术水平和国际竞争力，降低国内半导体设备造价，推动半导体等行业的发展也将具有非常重要的意义。分子泵磁轴承是精密的机电一体化产品，制造过程无环境污染，在合理利用自然资源、环保及节能等方面都具有一定示范作用。
三、分子泵磁轴承及主轴的研发，显著提高了我国磁轴承科研及产业化的水平，培养锻炼了一支磁轴承技术的研发队伍，为磁轴承技术的进一步发展，如高速、重载和高温磁轴承的研发打下了良好基础，从而将有力促进磁轴承在石化压缩机、透平膨胀机、泵，电站燃气涡轮以及航空航天、国防领域的重要装备中的应用，创造巨大的经济效益和社会效益。
目前，这一产品已申报了三项国家发明专利。飞旋科技有限公司正在为该项技术产品转化为市场产品做进一步的努力，今年将实现小批量生产，通过不断积累磁轴承在分子泵领域的应用经验，将逐步形成与多种型号分子泵配套的系列磁轴承新产品。