沈阳高新区：自主创新锻造高端产业链

 

        沈阳高新区作为国家五十余个高新技术开发区之一，自1988年开发建设以来，一手抓完善产业服务功能，一手抓增强自主创新能力，凭借其雄厚的技术和人才储备，通过自主创新，锻造了一系列高端技术领域的产业链。
        中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司通过引进消化吸收，在研制出国内第一台IC装备六英寸PECVD薄膜制备设备的基础上，利用PECVD技术，2009年2月份又研制出了“平板式太阳能电池薄膜制备PECVD设备”。
        “平板式太阳能电池薄膜制备PECVD设备”是太阳能电池的核心设备，目前，国内该类设备全部依赖进口，从而造成了太阳能电池生产成本居高不下。中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司凭借成熟的PEVCD技术，成功解决了该设备电极设计、加热器设计、大面积进气均匀性等核心技术难题，并已申请三项国家专利。
        据中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司光伏事业部部长赵崇凌介绍，该设备经过2个月的工艺连续摸索，已经达到了国际这类设备的同类水平，并正在国内相关企业进行试用。
        此前，中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司利用PECVD技术，已研制出国内首台六英寸等离子体增强化学气相沉积设备，此类设备也一直依赖进口。该设备的核心软件是由中科院博微自动化研究所自行设计，自动化控制硬件也是由该公司自己设计，在3700多个零部件中，70%都实现了国产化，由于实现了国产化，该设备的价格也由进口的每台120万美元降到了每台50万美元。
        据中国科学院沈阳科学仪器研制中心主任雷震霖介绍，IC装备制造专项PECVD设备，是我们的集成电路前道工序四大装备里面的一个重要的设备，它的研制成功，已解决了我们国家IC装备产业发展的一个重要瓶颈。
        坐落于沈阳高新区的国家传感器工程研究中心，是沈阳仪表科学研究院的一个下属机构，是我国唯一一家专门从事传感技术工程化的研究中心。该中心通过完全的自主创新，不仅为国防、水、煤气等公共领域生产出了各类传感器，获得了24项国家专利，而且拥有了4英寸芯片从研发、设计到检测、封装的能力，年生产能力已达100万片，已经建成了国内唯一一条硅基传感器的生产基地，产品已经替代了包括日本、德国等很多国家的产品，特别是硅芯片的生产能力在国内实现了百万片以上。目前已自主研发出12英寸芯片自动划片装备，填补了国内空白。
        沈阳芯源微电子设备有限公司研制的8英寸涂胶显影机得到广泛的应用后，又通过完全的自主创新，生产出了国内首台12英寸涂胶显影机。12英寸涂胶显影机不仅填补了国内空白，打破了发达国家的技术封锁，而且软件和硬件全部实现了国产化。
        在芯片生产过程中，晶圆片的传输系统也至关重要，富创得科技（沈阳）有限公司通过引进美国成熟的技术，生产出了PLUS 500晶圆盒载入载出设备。此类产品主要应用于200毫米晶圆盒的载入载出，是芯片生产线的必备设备。
        沈阳新松机器人自动化股份有限公司在企业内部建立起三级研发体系，研发投入比例每年都超过总收入的10%，通过产学研的有效结合，已累计完成科技攻关项目600多项，其中国家及省级以上项目22项，目前，新松公司拥有60多项国家专利，开发出了具有自主知识产权的30余种新型工业机器人产品，打破了国外的技术封锁和垄断。公司又攻克了制约IC制造装备快速发展的关键技术难题，在真空（洁净）机器人方面的研究取得了重大突破，样机已研制成功并逐渐推广使用。公司研制的首台集各种功能于一体的智能型服务机器人，不仅填补了国内空白，各项指标也已达到国际先进水平。公司2007年被国家发改委评为“国家级企业技术中心”。公司的工业机器人系列产品也荣获“中国名牌产品”称号，是该行业内唯一入选的企业。公司被科技部、国资委和全国总工会联合认定为国家创新型企业。
        沈阳高新区IC装备产业基地虽然起步晚，但是发展势头强劲，目前不仅拥有了半导体生产整机制造的能力，在零部件及软件方面也形成了自己独特的竞争能力。中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司研发的超洁净真空获得系统、罗茨干泵、超高真空气动闸板阀和半导体检测设备；沈阳科晶设备制造有限公司生产的研磨设备；东北大学冶金技术研究所研制的纳米合金钢在国内都是独一无二的，而且都达到了国际先进水平。
        2009年初，在国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目推进会上，沈阳高新区IC装备产业基地内4家企业5个IC装备项目获得了国家科技重大专项，获得了3.55亿元重大科技专项资金的支持。这些项目分别是：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司承担的“等离子体增强化学气相沉积设备研发与应用”和“干泵与系列真空阀门产品开发与产业化”；沈阳芯源微电子设备有限公司承担的“凸点封装涂胶显影及单片湿法刻蚀设备的开发与产业化”；沈阳新松机器人自动化股份有限公司承担的“IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化”；沈阳中科博微自动化技术有限公司承担的“集束式控制平台与软件”项目。 
        这5个项目计划到2012年末，完成所有研发并实现产业化。期间，将累计销售等离子体增强化学气相沉积设备7台、干泵与系列真空阀门产品500台、凸点封装涂胶显影及单片湿法刻蚀设备8台、IC装备机械手及硅片传输系统系列产品200台套、集束式控制平台与软件1000套。
        经过近几年的发展，沈阳高新区IC装备产业基地研发及产业化方面都取得了长足的进步，一个集研发、设计、制造、加工、销售于一体的IC装备产业基地已进入快速发展轨道，已被科技部认定为国家高新区产业集群试点，是全国唯一的IC装备集群试点。通过不断的自主创新，已能够生产IC成膜、匀胶显影、划片机等三类重要装备，拥有一项IC装备控制系统和一批关键零部件的配套能力，产业链条日趋完善，形成了国内首家IC装备产业集群全面发展的格局。目前，IC装备产业在国内已形成上海、北京、沈阳三足鼎立之势。
沈阳高新区作为国内数字医疗最重要的产业基地，近年来，逐步形成了以东软集团为龙头，以长江源科技有限公司、新松维尔康医疗科技有限公司为骨干的产业集群，拥有多种具有自主知识产权的高新技术产品。
        2009年7月，东软医疗系统有限公司自主研发的第一台16层CT正式发往美国客户，此举不仅填补了中国在多层螺旋CT市场的空白，也标志着东软16层CT产品已经成功进入全球高端医疗市场。同时，由东软医疗公司自主研发的第一台PET机已成功获得了美国FDA认证，这是目前世界上最先进的大型影像医疗诊断设备，整机部件国产化率已经达到了90%以上，从而成为全球第4家高端医疗设备生产公司。东软16层CT和1.5T磁共振成像系统，打破了我国这一领域被外资企业垄断的局面。
        对该新产品问世，东软集团董事长兼CEO刘积仁博士有个形象的比喻：“过去我们只能做‘捷达’，今天可以生产‘奥迪’了！”
        长江源科技公司生产的高强度聚焦超声刀系统实现了治疗肿瘤不用开刀的目标，拥有多项专利，是我国首创的医疗设备，国外尚无此类产品。
        目前，沈阳高新区已拥有包括CT系列、MRI系列、X线系列、彩超系列、激光成像系列、放射治疗系列、核医学系列、临床检验系列、监护系列、软件系列、耗材系列，以及正在研发中的核医学设备、医用电子直线加速器和计算机辅助诊断（CAD）系统、无创呼吸机、胰岛素泵等11大系列50余种产品，拥有5000余家客户，产品不仅遍布全国30多个省、市、自治区，而且还远销全球40多个国家和地区。
        近两年来，通过引进、吸收、再创新，沈阳高新区的风电装备实现了快速发展。
        2009年10月29日，沈阳能源集团、美国可再生能源集团与美国希艾罗风能集团在美国华盛顿国家新闻中心举行成立合资企业及风机采购协议签字仪式，三方共同在美国得克萨斯州建立600兆瓦风场，签约额为15亿美元。中方将向美方提供240台2.5兆瓦容量的风力发电机，这是中美两国在清洁能源领域合作的最大项目，也是中国风机出口的最大订单。此举标志着沈阳高新区装备制造业已经步入世界先进行列，沈阳将成为全球风机生产中心。
        该工程项目位于美国得克萨斯州帕哈顿风场，占地3.6万英亩，总装机容量为600兆瓦，是美国兴建的第二大风能项目，可满足美国13.5万到18万家庭一年的用电量需求。沈阳能源集团、美国可再生能源集团与美国希艾罗风能集团三方共同出资4000万美元成立合资企业，沈阳动力集团拥有49%的股份，其余股份由美国可再生能源与美国艾罗风能集团共同拥有。作为该项目的唯一供应商，沈阳能源集团负责生产240台2.5兆瓦风机，设备总容量为600兆瓦，此类风机机型是目前世界上最大的风机机型。德国弗兰德公司和美国GE公司提供风机技术和产品质量保证。该项目预计2010年3月开始建设，将创造2800个就业岗位，其中15%出自美国，其它职位流向中国，沈阳将产生800个就业岗位。
        该项目的成功签署在美国各界引起轰动，美联社、路透社、彭博通讯社、美国之音、《华尔街日报》、《华盛顿邮报》、《今日美国报》、《金融时报》以及新华社、凤凰卫视等21家世界主流媒体进行了报道。
世界500强企业GE公司于2004年在浑南新区组建通用电气能源（沈阳）有限公司，主要生产1.5兆瓦风电机组，公司运作伊始，就致力于关键零部件本土化。从2006年3月第一台风机组下线后，产品一直供不应求，产值和产量每年都实现了成倍增长，零部件的本土化率已经达到了90%以上。
        目前，沈阳高新区拥有4个风力发电项目，可生产从0.75兆瓦至2.7兆瓦全系列风力发电机组，所有的风力发电机组的生产国产化率都到达了70%以上。新区已成为我国重要的风力发电设备制造基地之一。
        近些年来，软件外包及嵌入式软件开发已经成了沈阳高新区最重要的产业之一。2009年，面对全球性金融风暴，当国内外大部分企业都觉得经历寒冬的时候，东软集团和沈阳昂立信息产业园的软件企业却觉得恰逢春日，加速了融入国际市场的步伐。
        东软集团把2009年定为“新东软元年”，因为2009年是东软向“全球优秀的IT解决方案与服务供应商”这一战略目标挺进的第一年。东软认为，软件产业是一个黏合剂，越是经济不景气的时候，各行各业越需要运用软件手段来改造、提升自身的管理和市场运营，从而达到降低成本，提高产品市场占有率的目的。东软加大了海外的投资力度，尤其是扩大了在美国、日本的投资规模，通过与IBM、英特尔、SAP、东芝、飞利浦等国际知名公司的合作，通过自身的人才优势，加速规模化和国际化进程，并将原来的软件开发外包升级到设计外包，进一步扩大在欧美市场的占有率。截至目前，东软的国际业务比例已经占到了总体业务的30%以上，占中国整个市场出口总额的7%，在美国、日本、印度、匈牙利等国家设立了6个分公司。
        金融危机不仅让东软等一些国内软件企业加速走向了国外市场，也使得国外的知名软件开发企业纷纷涌到沈阳，与沈阳当地的企业寻求合作。2009年，韩国第一软件外包企业LG—CNS正式落户浑南新区，以软件技术研发以及韩国软件外包业务为主，这是世界五百强企业在沈阳设立的第一个研发中心。随后，Sun中国开放技术中心、德州仪器技术中心等先后落户沈阳高新区，世界500强企业在新区设立的嵌入式系统技术中心达到10家。
        目前，国家先进制造技术研究与发展基地、国家机器人工程中心、国家自动化工程中心、国家高档数控工程中心、国家软件工程中心、国家传感元器件工程中心等8个国家级嵌入式系统中心都落户在浑南新区，嵌入式数据库、中间件、嵌入式Internet、移动设备嵌入式开发平台研究和产品开发方面均在国内处于领先地位，并具有许多成熟产品。中科院自动化所开发了汽车牌照自动识别专用数码相机系统，沈阳自动化所还攻克了现场总线技术和以太网工业应用技术，在嵌入式软件开发、利用嵌入式芯片实现信号采集和处理方面积累了很多经验。初步统计，浑南新区从事软件开发的人才有30000人，软件开发及外包服务的业务营业额已超70亿元。
        沈阳高新区为进一步提高自主创新能力，增强内生式发展动力，仅2009年新区财政就拿出近3亿元的科技发展专项资金，重点支持国家重大专项、省市重大项目和新区重点科技项目；依托高校、科研院所以及重点科技企业，相继建立了各类国家技术研发中心、企业工程技术中心和重点实验室。目前，新区已经拥有计算机软件国家工程研究中心、机器人技术国家工程研究中心、高档数控国家工程研究中心等51家国家及省部级研发机构；中科院金属所、自动化所、计算所、生态所、中科仪5个院所在区内设立产业化基地。新区拥有高新技术企业70家，占沈阳市的半壁江山。目前，新区国内先进技术和产品已达184项，其中达到国际先进水平的有115项。
        沈阳高新区还规划建设了从21世纪大厦至东软集团4公里长的科技研发孵化带，创建了动漫产业园、IC装备制造园、软件园、位置信息产业园、生物医药园、自动化园等专业孵化器为核心的孵化器集群。目前，新区孵化器面积达到35万平米，在孵企业450家，累计毕业企业达145家，其中35家实现购地建厂，2家企业实现上市；辽宁奥维通信、辽宁诺康生物、沈阳时尚电力等一批毕业企业正在成为新区科技产业发展的生力军。
              责编/刘 路